Ellipsometry of reflected and scattered fields for the analysis of substrate optical quality

Carole Deumié1, Oliver Gilbert, Gaelle Georges

  • 1Institut Fresnel, Ecole Généraliste d'Ingénieurs de Marseille, Université Paul Cézanne Aix-Marseille III, Université de Provence Aix-Marseille I, Domaine Universitaire de St. Jérôme, France. carole.deumie@fresnel.fr

Applied Optics
|March 21, 2006
PubMed

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