Replenish and relax: explaining logarithmic annealing in ion-implanted c-Si

Laurent Karim Béland1, Yonathan Anahory1, Dries Smeets1

  • 1Regroupement Québécois sur les Matériaux de Pointe (RQMP), Département de physique, Université de Montréal, Case Postale 6128, Succursale Centre-ville, Montréal, Québec, H3C 3J7, Canada.

Physical Review Letters
|August 29, 2014
PubMed

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