Thin Layers of Cerium Oxynitride Deposited via RF Sputtering

Gloria Carolina Numpaque1, Manuel Bethencourt2, Gloria Ivonne Cubillos1

  • 1Grupo de Materiales y Procesos Químicos, Departamento de Química, Universidad Nacional de Colombia, Av. Cra. 30 No 45-03, Bogotá 16486, Colombia.

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