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Updated: Jul 18, 2026

Characterization of SiN Integrated Optical Phased Arrays on a Wafer-Scale Test Station
Published on: April 1, 2020
1Department of Chemistry and Northwestern University Center for Nanofabrication and Molecular Self-Assembly, Northwestern University, 2145 Sheridan Road, Evanston, IL 60208, USA.
Un nanoplotter de ocho plumas permite la nanolitografía dip-pen (DPN) paralela, lo que aumenta significativamente la velocidad de patronaje. Este sistema utiliza una punta activa para guiar las puntas pasivas para la fabricación eficiente de nanoestructuras a gran escala.
Área de la Ciencia:
Sus antecedentes:
Objetivo del estudio:
Principales métodos:
Principales resultados:
Conclusiones: