Dispositivo de silicio que escala hasta el régimen sub-10 nm

Meikei Ieong1, Bruce Doris, Jakub Kedzierski

  • 1IBM Semiconductor Research and Development Center, T. J. Watson Research Center, Yorktown Heights, NY 10598, USA. mkieong@us.ibm.com

Science (New York, N.Y.)
|December 18, 2004
PubMed
Resumen

El escalamiento continuo de dispositivos de semiconductores de óxido metálico complementarios (CMOS) por debajo de 10 nanómetros requiere nuevos enfoques más allá del escalamiento convencional. Las nuevas geometrías y materiales de dispositivos son esenciales para mejorar el rendimiento y administrar la potencia en las futuras tecnologías de silicio.