Caracterización XPS verdaderamente cuantitativa de las monocapas orgánicas sobre silicio: estudio de las monocapas

Xavier Wallart1, Catherine Henry de Villeneuve, Philippe Allongue

  • 1Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, CNRS-UMR 8520, Avenue Poincaré, B.P. 69, 59652 Villeneuve d'Ascq Cedex, France. Xavier.Wallart@iemn.univ-lille1.fr

Resumen

La espectroscopia exacta de fotoelectrones de rayos X (XPS) es crucial para caracterizar las interfaces silicio-orgánicas. Este estudio presenta métodos para cuantificar la composición de la superficie, teniendo en cuenta la fotodifracción de rayos X y las longitudes de atenuación de fotoelectrones para un análisis confiable de la interfaz.

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