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Alain C Diebold1

  • 1SEMATECH, Austin, TX 78741, USA. .diebold@sematech.org

Science (New York, N.Y.)
|October 8, 2005
PubMed
Resumen

La nueva imagen holográfica de escaneo acústico logra una resolución espacial sin precedentes para la imagen de defectos y huecos en circuitos integrados y células biológicas.