Química inducida por láser para microelectrónica

Science (New York, N.Y.)
|February 15, 1985
PubMed
Resumen

Las reacciones químicas controladas por láser permiten la fabricación precisa de dispositivos de semiconductores, creando características submicrómetros sin fotolitografía. Esta investigación también avanza en la comprensión de las reacciones de interfaz mejoradas por la luz en el procesamiento de materiales.

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