El autoenfilado inducido por la temperatura y la nanoestratificación de las gotas eutecticas AuSi inducidas por la

Nicola Ferralis1, Roya Maboudian, Carlo Carraro

  • 1Department of Chemical Engineering, University of California, Berkeley, California 94720, USA.

Resumen

El autoenfilado de gotas de aleación de oro-silicio (AuSi) en sustratos de silicio (Si) se logra mediante recocido controlado. Este proceso, impulsado por el equilibrio termodinámico, da como resultado estructuras de gotas únicas relevantes para el crecimiento de nanocables de silicio y la ingeniería de cavidades a nanoescala.

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