Pirólisis, cristalización y sinterización de películas delgadas de titanio mesostructured evaluadas por ellipsometría

John D Bass1, David Grosso, Cédric Boissiere

  • 1Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris, Université Pierre et Marie Curie-Paris 6 and CNRS, 4 place Jussieu, 75252 Paris 05, France.

Resumen

La elipsometría térmica in situ revela cómo los horarios de calentamiento y la composición de la película afectan a las películas delgadas. Este método ofrece información detallada sobre los procesos químicos que rigen las propiedades de los materiales para películas funcionales avanzadas.

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