Crecimiento epitaxial de la mesostructura anisotrópica en una superficie anisotrópica de una estructura nanocolumnar

Hirokatsu Miyata1, Wataru Kubo, Akira Sakai

  • 1Frontier Research Center, Canon Inc., 3-30-2 Shimomaruko, Ohta-ku, Tokyo 146-8501, Japan. miyata.hirokatsu@canon.co.jp

Resumen

Las películas de carbono amorfo tetraédrico (ta-C) permiten la alineación controlada de las películas de sílice mesoporo. La deposición oblicuo de ta-C crea superficies anisotrópicas, guiando el crecimiento de los mesocanales para nanoestructuras de sílice a medida.

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