Impresión de nanotransferencia utilizando sellos de silicio grabados en plasma y mediados por fluoropolímero

Deepak Bhandari1, Ivan I Kravchenko, Nickolay V Lavrik

  • 1Department of Chemistry, University of Tennessee, Knoxville, Tennessee 37996, USA.

Resumen

Un nuevo método utiliza películas de polímero de octafluorociclobutano (OFCB) para una impresión de transferencia a nanoescala (nTP) eficiente. Esta técnica logra una resolución de las características por debajo de los 100 nm, lo que permite una nanofabricación avanzada con un sello de fluoropolímero similar al teflón.

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