Deposito químico de alta presión confinado de silicio amorfo hidrogenado de silicio

Neil F Baril1, Rongrui He, Todd D Day

  • 1Department of Chemistry, Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802, USA.

Resumen

Los investigadores desarrollaron un nuevo método utilizando micro/nanoreactores para producir películas de silicio amorfo hidrogenado (a-Si:H) de alta calidad. Esta técnica supera las limitaciones anteriores, permitiendo una deposición eficiente para aplicaciones electrónicas y fotónicas avanzadas.

Videos de Conceptos Relacionados