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Updated: Jul 2, 2025

Silicon Metal-oxide-semiconductor Quantum Dots for Single-electron Pumping
Published on: June 3, 2015
Funcionamiento a temperatura ambiente del diodo de avalancha de un solo fotón de germanio y silicio
Neil Na1, Yen-Cheng Lu2, Yu-Hsuan Liu2
1Artilux Inc., Zhubei, Taiwan ROC. neil@artiluxtech.com.
Los investigadores desarrollaron un nuevo diodo de avalancha de un solo fotón de germanio-silicio (SPAD) compatible con la fabricación CMOS. Este dispositivo de temperatura ambiente permite la detección avanzada de fotones infrarrojos de longitud de onda corta (SWIR) para aplicaciones más amplias.
Área de la Ciencia:
- Fotónica y optoelectrónica
- Física de los dispositivos de semiconductores
- Tecnología de detección de infrarrojos
Sus antecedentes:
- La detección de un solo fotón es crucial para los avances en varios campos científicos.
- Los diodos de avalancha de un solo fotón (SPAD) existentes basados en silicio requieren temperaturas criogénicas y no son totalmente compatibles con CMOS, lo que limita su adopción generalizada.
- El cambio hacia la detección de infrarrojos de longitud de onda corta (SWIR) se debe a necesidades de seguridad y rendimiento, pero la absorción óptica del silicio es insignificante más allá de 1 μm.
Objetivo del estudio:
- Desarrollar un SPAD compatible con CMOS capaz de funcionar a temperatura ambiente para la detección SWIR.
- Mejorar los SPAD basados en germanio existentes en términos de rendimiento y potencia equivalente de ruido.
- Para demostrar el potencial de este nuevo detector para aplicaciones prácticas como imágenes en 3D.
Principales métodos:
- Fabricación de un SPAD de germanio y silicio.
- Caracterización de los parámetros clave de rendimiento, incluida la velocidad de conteo en oscuridad, la probabilidad de detección, el jitter de sincronización y el pulso posterior.
- Demostración de imágenes tridimensionales de nubes de puntos mediante la técnica de tiempo de vuelo directo.
Principales resultados:
- Se logró un SPAD de germanio-silicio compatible con CMOS que funciona a temperatura ambiente.
- Demostró una mejora de potencia equivalente a ruido de 2 a 3,5 órdenes de magnitud en comparación con los anteriores SPAD basados en germanio.
- Los parámetros clave incluyen una tasa de recuento oscuro de 19 kHz μm-2, una probabilidad de detección del 12% a 1.310 nm, un jitter de sincronización de 188 ps y una probabilidad de pulso posterior del <1%.
Conclusiones:
- El SPAD de germanio-silicio desarrollado ofrece un alto rendimiento a temperatura ambiente y es compatible con la fabricación CMOS.
- Esta tecnología aborda las limitaciones de los SPAD de silicio para aplicaciones SWIR.
- Abre el camino para sensores SWIR sensibles a un solo fotón, cámaras de imagen y circuitos integrados en electrónica de consumo y otras aplicaciones cotidianas.
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