Tomografía de rayos X de alta resolución de 4 nm mediante picografía por ráfaga

Tomas Aidukas1, Nicholas W Phillips2,3, Ana Diaz2

  • 1Paul Scherrer Institute, Villigen, Switzerland. tomas.aidukas@psi.ch.

Nature
|July 31, 2024
PubMed
Resumen

Este estudio introduce la picografía de ráfaga y la reconstrucción tomográfica de propagación posterior para imágenes 3D no destructivas de alta resolución. El nuevo método alcanza una resolución de 4 nanómetros, lo que permite un análisis detallado de nanoestructuras complejas como los circuitos integrados.