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Updated: Jul 4, 2026
08:48
Selective Area Modification of Silicon Surface Wettability by Pulsed UV Laser Irradiation in Liquid Environment
Published on: November 9, 2015
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Evolución de la fase inducida por irradiación de iones de carbono de baja energía en bicapas de Ni/Si tratadas
Khushboo Shah1, Ratnesh Pandey1, Devarani Devi2
1Department of Physics, School of Advanced Engineering, UPES Dehradun 248001 India santosh.dubey@ddn.upes.ac.in.
RSC advances
|August 27, 2025
Resumen
La irradiación de iones de carbono de baja energía altera significativamente las fases de silicuro de níquel en las bicapas de níquel-silicio recocidas térmicamente. Este estudio investiga la evolución de la fase y la estabilidad bajo irradiación para aplicaciones de materiales avanzados.
Área de la Ciencia:
- Ciencias de los materiales
- Ciencias de la superficie
- Modificación del haz de iones
Sus antecedentes:
- Las bicapas de níquel-silicio (Ni/Si) son cruciales para las interconexiones y contactos microelectrónicos.
- La comprensión de la formación y la estabilidad de la fase de silicuro de níquel es clave para la fiabilidad del dispositivo.
- Los efectos de la irradiación iónica sobre las películas delgadas requieren una investigación detallada.
Objetivo del estudio:
- Investigar el impacto de la irradiación de iones de carbono de baja energía en las bicapas de Ni/Si recocidas térmicamente.
- Analizar la formación, evolución y estabilidad de las fases de silicuro de níquel bajo irradiación.
- Comprender las modificaciones estructurales inducidas por la irradiación de iones de carbono.
Principales métodos:
- Fabricación de bicapas de Ni/Si mediante pulverización por magnetrón.
- El recocido térmico a 500 °C para nuclear las fases de silicuro de níquel.
- Irradiación de iones de carbono a 120 keV con fluencias de 3 × 10^15 y 1 × 10^16 iones/cm2.
- Caracterización mediante difracción de rayos X de incidencia de pastoreo (GIXRD), microscopía electrónica de transmisión (TEM) y espectroscopia de retrodispersión de Rutherford (RBS).
Principales resultados:
- La irradiación de iones de carbono induce modificaciones estructurales significativas tanto en las muestras de Ni/Si recocidas como en las no recocidas.
- El análisis TEM confirma los cambios estructurales resultantes de la irradiación.
- Se estudiaron las fases específicas del silicuro de níquel y su evolución bajo irradiación.
Conclusiones:
- La irradiación de iones de carbono de baja energía es un método viable para modificar las fases de silicuro de níquel.
- La irradiación influye en la estabilidad y estructura de las películas delgadas de silicuro de níquel.
- La investigación adicional puede explorar propiedades de materiales a medida a través de la irradiación iónica controlada.
