Sensor de flujo ortogonal fabricado con película amorfa de CoZrNb

Área de la Ciencia:

• Ciencias de los materiales
• Ingeniería eléctrica
• Tecnología de sensores

Sus antecedentes:

• Los sensores de porta de flujo ortogonales son cruciales para la medición del campo magnético.
• La miniaturización de los sensores es esencial para aplicaciones avanzadas.
• Las películas magnéticas amorfas ofrecen propiedades únicas para la fabricación de sensores.

Objetivo del estudio:

• Para fabricar sensores de portón de flujo microortogonales utilizando películas amorfas de CoZrNb.
• Para optimizar los procesos de fabricación y el rendimiento del sensor.
• Para investigar las características del sensor para la medición del campo magnético de la Tierra.

Principales métodos:

• Fabricación de microsensores (1,5 mm × 0,5 mm) con películas amorfas de CoZrNb.
• Optimización de los parámetros de pulverización y deposición (ángulo de pulverización, rotación del sustrato).
• Aplicación de la capa de adhesión Ta y tratamiento superficial con plasma O2.
• El recocido al vacío a 300 °C con un campo magnético de 500 Oe.
• Investigación cuantitativa de los efectos de la frecuencia de funcionamiento y de la anchura del conductor.

Principales resultados:

• Se han fabricado con éxito sensores de portón de flujo microortogonales.
• Superó desafíos como la cobertura de escalones pobres y la delaminación.
• Logró un rendimiento óptimo a través del recocido al vacío, mejorando la suavidad magnética y la anisotropía.
• Se obtiene una coercitividad muy baja (0,1 Oe) y una estructura amorfa estable.
• Se registró una sensibilidad máxima de 0,98 mV/ Oe (9,8 V/ T).

Conclusiones:

• Los sensores de portón de flujo ortogonal miniaturizados se pueden fabricar utilizando películas amorfas de CoZrNb.
• Los sensores desarrollados son adecuados para el embalaje de múltiples chips.
• Estos sensores demuestran el potencial para medir el campo magnético de la Tierra.