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Updated: Sep 9, 2025

Femtosecond Laser Filaments for Use in Sub-Diffraction-Limited Imaging and Remote Sensing
Published on: April 25, 2019
Monitoreo basado en la dispersión de estructuras superficiales periódicas inducidas por láser en acero inoxidable
Agustín Götte1, Marcelo Sallese1, Fabian Ränke1
1Institut für Fertigungstechnik, Technische Universität Dresden, George-Bähr-Str. 3c, 01069 Dresden, Germany.
Scatterometry monitorea efectivamente las estructuras de superficie periódicas inducidas por láser (LIPSS) en acero inoxidable, lo que permite el control de calidad en tiempo real. Este método óptico estima con precisión la altura y el período de LIPSS, cruciales para la estabilidad del proceso.
Área de la Ciencia:
- Ciencias de los materiales
- Ingeniería óptica
- Ciencias de la superficie
Sus antecedentes:
- La estructuración de superficies basada en láser es vital para la fabricación de componentes de alta calidad.
- La dispersión óptica ofrece una solución de monitoreo rápida, sin contacto y no destructiva para características a microescala.
- Las estructuras de superficie periódicas inducidas por láser (LIPSS) son críticas para adaptar las propiedades de los materiales.
Objetivo del estudio:
- Investigar la eficacia de la dispersión para el seguimiento de la formación y las características de LIPSS.
- Para correlacionar los datos de dispersión con las mediciones basadas en microscopía de LIPSS.
- Evaluar el potencial de la dispersión para el control de procesos en tiempo real en la fabricación de LIPSS.
Principales métodos:
- Fabricación de LIPSS en acero inoxidable mediante pulsos láser ultracortos y un sistema de escaneo de polígonos.
- Caracterización de LIPSS utilizando microscopía y una configuración óptica basada en la dispersión.
- Análisis de patrones de difracción y distribuciones de intensidad para determinar la altura, el período espacial y la regularidad de LIPSS.
Principales resultados:
- La dispersión estimó con precisión la altura de LIPSS hasta 420 nm con un error promedio del 7,7% para las estructuras más altas.
- La estimación del período mostró un error promedio de aproximadamente el 5% para LIPSS bien definido.
- Monitoreo del ángulo de apertura de LIPSS correlacionado con la regularidad, identificando las condiciones en las que las subestructuras dominan sobre LIPSS.
Conclusiones:
- La dispersión es una técnica viable para el monitoreo in situ y la caracterización de LIPSS.
- El método permite el estudio de la dinámica de formación de LIPSS mediante el análisis de los patrones de difracción en evolución.
- Este enfoque mejora la estabilidad y la reproducibilidad del proceso en la estructuración de superficies basada en láser.
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