Ingeniería de nanoestructuras por deposición en ángulo oblicuo para fotodetectores y otras aplicaciones

Gyeongho Lee1,2, Raksan Ko3, Seungme Kang3

  • 1Semiconductor Total Solution Center, Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology, 3321 Gyeongchung-daero, Icheon 17303, Republic of Korea.

Micromachines
|August 28, 2025
PubMed
Resumen

La deposición de ángulo oblicuo (OAD) crea nanoestructuras únicas para dispositivos avanzados. Esta revisión destaca los fotodetectores OAD, sus aplicaciones y el potencial futuro en la ingeniería de nanoestructuras.

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