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Updated: Sep 9, 2025

Fabrication of Schottky Diodes on Zn-polar BeMgZnO/ZnO Heterostructure Grown by Plasma-assisted Molecular Beam Epitaxy
Published on: October 23, 2018
Un LDMOS integrado con diodo de heterounión de trinchera 4H-SiC con características de recuperación inversa mejoradas
Yanjuan Liu1, Fangfei Bai1, Junpeng Fang2
1The College of Electronic and Information Engineering, Shenyang Aerospace University, Shenyang 110136, China.
Una nueva heterounión de trinchera en la fuente (THD-LDMOS) mejora la recuperación inversa de 4H-SiC LDMOS. Este dispositivo de carburo de silicio reduce significativamente la corriente y la carga del diodo parásito, mejorando el rendimiento sin afectar otras características eléctricas.
Área de la Ciencia:
- Ciencias de los materiales
- Ingeniería eléctrica
- Física de los semiconductores
Sus antecedentes:
- Los dispositivos LDMOS de carburo de silicio 4H (SiC) son cruciales para la electrónica de potencia.
- Los diodos parásitos en las estructuras LDMOS pueden limitar el rendimiento, especialmente durante la recuperación inversa.
- La optimización de la recuperación inversa es esencial para las aplicaciones eficientes de conmutación de energía.
Objetivo del estudio:
- Proponer e investigar una nueva estructura de 4H-SiC LDMOS con una heterounión de zanja en la fuente (THD-LDMOS).
- Para mejorar el rendimiento de recuperación inversa del diodo parasitario en 4H-SiC LDMOS.
- Para analizar el impacto de la heterounión de zanja en las características del dispositivo.
Principales métodos:
- Simulación y caracterización del dispositivo.
- Introducción de una estructura de silicio P+ de trinchera en la región de origen.
- Análisis de la formación de la heterounión y su comportamiento eléctrico.
- Comparación del THD-LDMOS con el LDMOS convencional de 4H-SiC.
Principales resultados:
- La heterojunción de trinchera es unipolar y funciona en paralelo con el diodo PiN del cuerpo.
- La heterounión conduce primero durante el funcionamiento libre, evitando el encendido del diodo PiN.
- Reducción significativa de la corriente pico de recuperación inversa (55,5%) y de la carga de recuperación inversa (77,6%).
- No hay efectos adversos en otras características eléctricas fundamentales del dispositivo LDMOS.
Conclusiones:
- La estructura THD-LDMOS mejora efectivamente el rendimiento de la recuperación inversa.
- El nuevo diseño de heterounión de zanja ofrece una solución viable para reducir la acumulación de portadores.
- Este avance es beneficioso para aplicaciones de conmutación de energía de alto rendimiento.
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