Grabado de granos y límites de granos en islas de MoS2 altamente cristalinas

Linfeng Li1, Rongnan Wang1, Pengcheng Wang1

  • 1Department of Applied Physics, College of Physics and Materials Science, Tianjin Normal University, Tianjin 300387, P. R. China.

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Resumen

Las islas de disulfuro de molibdeno (MoS2) depositadas por vapor químico (CVD) muestran grabado anisotrópico. Los límites de inclinación son más reactivos al grabado de oxígeno, revelando información sobre los dicalcogenuros de metales de transición (TMD) para aplicaciones avanzadas.