Las películas delgadas de Van der Waals β-Ga2O3 sobre sustratos de diamantes policristalinos

Jing Ning1,2,3, Zhichun Yang4,5, Haidi Wu4,5

  • 1The State Key Laboratory of Wide-Bandgap Semiconductor Devices and Integrated Technology, Xi'an, China. ningj@xidian.edu.cn.

Nature communications
|August 30, 2025
PubMed
Resumen

Este estudio introduce el óxido de beta-gallio de van der Waals (VdW-β-Ga2O3) en diamante policristalino para mejorar la gestión térmica en dispositivos semiconductores de banda ancha. Este enfoque supera las limitaciones de los métodos epitaxiales tradicionales, lo que permite aplicaciones prácticas.