Diseño mecánico de un instrumento RADSI basado en flexión paralela para la metrología de espejos de rayos X curvos

Área de la Ciencia:

• Óptica y metrología
• Ciencias de los materiales
• La física

Sus antecedentes:

• Las líneas de haz de rayos X sincrotrón avanzadas requieren ópticas reflectantes de alta precisión para el enfoque limitado por difracción.
• Los métodos interferométricos convencionales luchan con los rangos de pendiente pronunciada (> 15 mrad) de los componentes ópticos modernos.
• La repetibilidad de la medición subnanométrica es esencial para la fabricación de sistemas ópticos de próxima generación.

Objetivo del estudio:

• Desarrollar un nuevo instrumento de metrología para la caracterización precisa de ópticas reflectantes con rangos de pendiente desafiantes.
• Para mejorar la precisión del perfil de superficie de los espejos utilizados en aplicaciones avanzadas de sincrotrón.
• Para lograr mediciones repetibles de nanómetro a subnanómetro para la metrología óptica.

Principales métodos:

• Desarrollo de un instrumento de interferometría de costuras determinable por ángulo relativo.
• Implementación de un diseño mecánico basado en flexión paralela para una mayor estabilidad.
• Prueba con un espejo cilíndrico con un radio de curvatura de 16 m y un rango de inclinación de 5 mrad.

Principales resultados:

• Repetibilidad demostrada a nivel nanométrico en las mediciones iniciales de un espejo cilíndrico.
• El diseño de flexión paralela proporciona una mejor vibración y estabilidad térmica.
• El instrumento es compacto y ligero, adecuado para diversas aplicaciones de metrología.

Conclusiones:

• El nuevo instrumento de interferometría de costura mide efectivamente la óptica con rangos de pendiente significativos.
• El sistema muestra potencial para lograr la repetibilidad subnanométrica con un mayor desarrollo.
• Este avance apoya la fabricación de ópticas de mayor precisión para las modernas instalaciones de radiación sincrotrón.