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Updated: Sep 9, 2025

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Sample Preparation and Experimental Design for In Situ Multi-Beam Transmission Electron Microscopy Irradiation Experiments
Published on: June 27, 2022
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Descubrimiento de la dinámica de los defectos en el óxido de galio: perspectivas TEM in situ bajo irradiación iónica
Lucia R Gomez Hurtado1, Chris McRobie1, Da Cao1
1Department of Nuclear Engineering, North Carolina State University, Raleigh, North Carolina 27695-7909, United States.
ACS applied materials & interfaces
|September 4, 2025
Resumen
Este estudio revela cómo se forman y evolucionan los defectos en el óxido de galio (Ga2O3) bajo irradiación y calor. La microscopía electrónica de transmisión in situ (TEM) muestra una evolución acelerada del defecto con tensión combinada, lo que afecta la fiabilidad del dispositivo.
Área de la Ciencia:
- Ciencias de los materiales
- Física de los semiconductores
- Nanotecnología
Sus antecedentes:
- El óxido de galio (Ga2O3) posee propiedades de campo de ruptura ultraancho y alto.
- Su transparencia y robustez lo hacen adecuado para sensores en entornos hostiles.
- La comprensión de la evolución del defecto es crucial para la fiabilidad del dispositivo Ga2O3.
Objetivo del estudio:
- Investigar la dinámica de los defectos en Ga2O3 bajo irradiación iónica y recocido.
- Observar la evolución del defecto en tiempo real mediante microscopía electrónica de transmisión in situ (TEM).
- Para analizar los efectos combinados de la irradiación y la temperatura en Ga2O3.
Principales métodos:
- Microscopía electrónica de transmisión in situ y ex situ (TEM) para la observación de defectos en tiempo real.
- Irradiación iónica (Kr2+) de hasta 15,4 desplazamientos por átomo (dpa) a temperatura ambiente.
- Experimentos de recocido de 100 °C a 500 °C y de irradiación y recocido simultáneos.
Principales resultados:
- Formación y crecimiento de pequeños defectos negros (SBD), grupos de defectos y redes de dislocación bajo irradiación.
- Estabilidad de la estructura cristalina durante el calentamiento gradual, pero evolución acelerada del defecto bajo estrés combinado.
- Observación de una transición de fase β a γ durante los experimentos de irradiación solamente.
Conclusiones:
- In situ TEM proporciona información crítica sobre el comportamiento de los defectos de Ga2O3 en condiciones extremas.
- La irradiación combinada y el recocido aceleran significativamente la evolución del defecto.
- Los hallazgos ayudan a desarrollar dispositivos electrónicos Ga2O3 más resistentes para aplicaciones exigentes.

