Caracterización del detector de presión ultravariable para electrones secundarios en el SEM de bajo vacío

Área de la Ciencia:

• Ciencias de los materiales
• Técnicas de microscopía
• Ciencias de la superficie

Sus antecedentes:

• La microscopía electrónica de barrido bajo vacío (SEM) permite obtener imágenes de muestras aislantes sin recubrimiento conductor.
• Los efectos de carga son un desafío en el SEM convencional para materiales no conductores.
• El detector de presión ultravariable (UVD) fue desarrollado para detectar electrones secundarios (SE) en SEM de bajo vacío.

Objetivo del estudio:

• Caracterizar las características de la señal del UVD en el SEM de bajo vacío.
• Para comparar la señal UVD con el detector tradicional de Everhart-Thornley (E-T).
• Comprender la influencia de la presión del vacío en la composición de la señal UVD.

Principales métodos:

• Utilizó una esfera de acero inoxidable (SUS) para la caracterización de la señal.
• Realización de experimentos y simulaciones en condiciones variables de vacío bajo (de unos pocos a 30 Pa).
• Se compararon los perfiles de la señal UVD con los de un detector E-T.

Principales resultados:

• La señal UVD exhibe un perfil distinto de dos picos redondos, diferente del detector E-T.
• En el vacío más alto (pocos Pa), los SE dominan la señal UVD, parecida a la salida del detector E-T.
• En el vacío más bajo (30 Pa), los electrones de baja energía retrodispersos (BSEs) se convierten en la contribución principal a la señal UVD.

Conclusiones:

• La composición de la señal UVD depende de la presión.
• La presión de la cámara de ajuste permite controlar si la imagen UVD enfatiza las señales SE o de baja energía de BSE.
• Esto proporciona flexibilidad en la obtención de imágenes SEM a bajo vacío para diferentes tipos de muestras e información deseada.