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Updated: Aug 17, 2026

12:19
Measurement of Quantum Interference in a Silicon Ring Resonator Photon Source
Published on: April 4, 2017
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Plataforma fotónica de nitruro de silicio sobre vidrio para capas de redistribución óptica escalables y de alta
Optics express
|December 19, 2025
Resumen
La fotónica de nitruro de silicio sobre vidrio (SING) ofrece capas de redistribución óptica (RDL) de alta densidad para interconexiones ópticas escalables a nivel de oblea. Esta tecnología permite una densidad 10 veces mayor en comparación con las plataformas existentes, compatible con el procesamiento de paneles grandes.
Área de la Ciencia:
- Fotónica
- Ciencia de los materiales
- Ingeniería eléctrica
Sus antecedentes:
- Las interconexiones ópticas son cruciales para la transmisión de datos de alta velocidad.
- Las tecnologías actuales enfrentan limitaciones en densidad y escalabilidad para el empaquetado avanzado.
- La integración a nivel de oblea es clave para la fabricación rentable de dispositivos fotónicos.
Objetivo del estudio:
- Presentar y demostrar la fotónica de nitruro de silicio sobre vidrio (SING) como una tecnología viable para capas de redistribución óptica (RDL).
- Establecer la viabilidad de SING para interconexiones ópticas de alta densidad a nivel de oblea dentro del empaquetado a nivel de panel.
- Evaluar las ventajas de rendimiento y densidad de SING en comparación con las plataformas de fotónica de vidrio existentes.
Principales métodos:
- Fabricación y caracterización a nivel de oblea de componentes fotónicos pasivos utilizando SING.
- Integración de acopladores de rejilla, resonadores de anillo, acopladores MMI, MZI y guías de onda cosidas.
- Evaluación de las capacidades de transmisión y la densidad de componentes a nivel de oblea.
Principales resultados:
- Se demostraron componentes pasivos que soportan transmisión de datos de 106 Gbps.
- Se logró un radio de curvatura compacto de 100 µm, lo que permite una densidad de componentes 10 veces mayor.
- Se confirmó la compatibilidad con el procesamiento de paneles grandes, crucial para la fabricación escalable.
Conclusiones:
- SING es una tecnología factible y prometedora para capas de redistribución óptica (RDL) de alta densidad.
- La tecnología permite interconexiones ópticas escalables a nivel de oblea adecuadas para el empaquetado a nivel de panel de próxima generación.
- SING ofrece ventajas significativas de densidad sobre las plataformas de fotónica de vidrio existentes, allanando el camino para sistemas ópticos avanzados.

