Un sensor de presión piezorresistivo ITON a base de cerámica con amplio rango de temperatura (RT-900 °C) y amplia

Haigang Wang1, Ruliang Xu1, Biling Wang2

  • 1Key Laboratory for Micro/Nano Technology and System of Liaoning Province, Dalian University of Technology, Dalian, China.

PubMed
Resumen

Este estudio presenta un nuevo sensor de presión piezorresistivo a base de cerámica que utiliza óxido de indio y estaño dopado con nitrógeno (ITON). El sensor demuestra un rendimiento estable a altas temperaturas, crucial para aplicaciones aeroespaciales.