Electrodos segmentados de dedo para optimizar el polado periódico continuo ultra largo a escala de oblea en niobato

Laura Bollmers1, Noah Spiegelberg2, Michael Rüsing1

  • 1Department of Physics, Integrated Quantum Optics, Institute for Photonic Quantum Systems (PhoQS), Paderborn University, 33095 Paderborn, Germany.

PubMed

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