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Updated: Jan 20, 2026

Niobium Oxide Films Deposited by Reactive Sputtering: Effect of Oxygen Flow Rate
Published on: September 28, 2019
Análisis estructural de películas delgadas texturizadas de Cu-Nb y Cu-Pd co-depositadas
Claudia Cancellieri1, Giacomo Lorenzin1, Yeliz Unutulmazsoy2
1Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Laboratories for Joining Technologies and Corrosion, Überlandstrasse 129, 8600Dübendorf, Switzerland.
Este estudio presenta un nuevo modelo para analizar películas de aleación de dos metales a nanoescala, crucial para comprender las propiedades de los materiales. El modelo ayuda a caracterizar la distribución estructural de los elementos en películas delgadas de cobre depositadas por pulverización catódica.
Área de la Ciencia:
- Ciencia de Materiales
- Nanotecnología
- Física de Películas Delgadas
Sus antecedentes:
- La caracterización de sistemas de dos fases metálicas a nanoescala con elementos minoritarios es un desafío debido al desorden congelado de la co-pulverización.
- La cuantificación precisa de la distribución elemental y el desorden interno en dichos sistemas requiere modelos analíticos avanzados.
- La comprensión de la autoorganización de los elementos dentro de una matriz es clave para controlar las propiedades del material.
Objetivo del estudio:
- Presentar un modelo novedoso para describir la distribución estructural de elementos de aleación en películas delgadas de cobre (Cu) magnetron-sputtered.
- Analizar dos casos contrastantes: películas de Cu con Niobio (Nb) inmiscible y Paladio (Pd) formador de aleaciones.
- Comparar datos de difracción de rayos X (DRX) con espectroscopia de rayos X de energía dispersiva (EDX) para el análisis de la distribución elemental.
Principales métodos:
- Desarrollo de un modelo computacional para ajustar patrones de difracción de diversas geometrías.
- Pulverización catódica de películas delgadas de cobre con elementos minoritarios (Nb y Pd).
- Análisis mediante difracción de rayos X (DRX) y espectroscopia de rayos X de energía dispersiva (EDX).
Principales resultados:
- El modelo describe con éxito la distribución estructural de los elementos de aleación en películas delgadas de Cu.
- Se observaron comportamientos contrastantes para Nb inmiscible y Pd formador de aleaciones dentro de la matriz de Cu.
- Validación del modelo mediante comparación con la distribución elemental derivada de EDX.
Conclusiones:
- El modelo desarrollado proporciona un marco sólido para la caracterización estructural de sistemas complejos de aleaciones a nanoescala.
- El estudio destaca la importancia de considerar la miscibilidad de los elementos y las propiedades termodinámicas en el diseño de películas delgadas.
- Este trabajo avanza en la comprensión y caracterización de películas delgadas de aleaciones desordenadas para posibles aplicaciones.
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