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Updated: Feb 5, 2026

Atomic Layer Deposition of Vanadium Dioxide and a Temperature-dependent Optical Model
Published on: May 23, 2018
Optimización microestructural de las propiedades de modulación óptica de infrarrojo medio de películas delgadas de
Sen Jin1,2, Ningning Dong1,2, Zhouyuan Yan1,2
1Optoelectronics & Interdisciplinary Department, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences Shanghai 201800 China n.n.dong@siom.ac.cn.
Las películas delgadas de dióxido de vanadio (VO2) se optimizaron mediante recocido por gradiente para mejorar la modulación óptica de infrarrojo medio. Este método mejora la cristalinidad y reduce los defectos, lo que conduce a un rendimiento superior en aplicaciones de limitación óptica.
Sus antecedentes:
- El dióxido de vanadio (VO2) exhibe una transición metal-aislante crucial para la modulación óptica.
- Los métodos existentes para la fabricación de películas delgadas de VO2 a menudo enfrentan desafíos para lograr un rendimiento óptimo.
Conclusiones:
- El recocido por gradiente es una estrategia eficaz para mejorar las propiedades de las películas delgadas de VO2.
- El estudio proporciona información sobre las relaciones estructura-defecto-propiedad en VO2.
- Se presenta una ruta escalable para películas delgadas de óxido de cambio de fase de alto rendimiento.
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