Punto de inflexión de dispersión mejorado con interferómetro Fizeau para la detección de micro desplazamientos

Área de la Ciencia:

• Metrología óptica de la metrología óptica.
• La interferometría es una técnica de interferometría.
• Medición de precisión de la medición.

Sus antecedentes:

• Los interferómetros Fizeau ofrecen robustez y estabilidad, pero sufren de una sensibilidad decreciente con el aumento de la longitud de la cavidad en la detección de micro desplazamientos.
• Los diseños de interferómetros Fizeau existentes se enfrentan a limitaciones en la sensibilidad para mediciones precisas de micro desplazamiento a medida que aumenta la longitud de la cavidad.

Objetivo del estudio:

• Para mejorar la sensibilidad de los interferómetros Fizeau para la detección de micro desplazamientos.
• Desarrollar un interferómetro Fizeau con sensibilidad mejorada y ajustable y rango dinámico.

Principales métodos:

• Propuso un punto de inflexión de dispersión (DTP) mejorado con el interferómetro Fizeau utilizando una placa de cuarzo como divisor de haz.
• Se obtiene DTP ajustando la longitud de la cavidad entre el revestimiento reflectante del divisor de haz y la superficie de prueba.
• Aprovechó el punto de dispersión cero del cuarzo para la atenuación de la sensibilidad cuando se desvía de DTP.

Principales resultados:

• Realizó una ultra alta sensibilidad al micro desplazamiento al operar cerca del DTP.
• Logró una alta sensibilidad constante de 0,333 nm/nm en un rango de longitud de onda de 56 nm.
• Demostrado rango dinámico ajustable mediante la afinación de la posición DTP.

Conclusiones:

• El interferómetro Fizeau mejorado con DTP mejora significativamente la sensibilidad para la detección de micro desplazamientos.
• El método propuesto proporciona una solución estable, independiente de la polarización y ajustable para mediciones de alta precisión.
• Este interferómetro Fizeau mejorado ofrece una plataforma versátil para diversas aplicaciones de detección de micro desplazamiento.