Holografía Digital Utilizando Generación Armónica de Sólidos para la Reconstrucción de Nanoestructuras Sub-longitud

Leo Guery1, Falco Bijloo2, Peter M Kraus1,3

  • 1Advanced Research Center for Nanolithography, Science Park 106, 1098 XG Amsterdam, Netherlands.

ACS photonics
|February 23, 2026
PubMed
Resumen

La microscopía holográfica digital combinada con la generación armónica permite la reconstrucción y caracterización 3D precisa de estructuras sub-longitud de onda. Esta técnica avanzada mejora la precisión para nanoestructuras, con aplicaciones en la fabricación de semiconductores.