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Updated: Feb 24, 2026

07:28
Terahertz Microfluidic Sensing Using a Parallel-plate Waveguide Sensor
Published on: August 30, 2012
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Sensor de índice de refracción basado en un resonador de microanillo de Si₃N₄ para muestras líquidas: Comparación de
Daniela Tomasetig1, Jesus Hernan Mendoza-Castro1, Silvia Schobesberger2
1TU Wien, Institute of Chemical Technologies and Analytics, Getreidemarkt 9/164, Vienna 1060, Austria.
ACS measurement science au
|February 23, 2026
Resumen
Este estudio presenta un resonador de microanillo (MRR) de nitruro de silicio para la detección de índice de refracción (RI) en tiempo real en sistemas microfluídicos. El detector a escala de chip ofrece alta sensibilidad y velocidad, superando a los dispositivos comerciales para el análisis de líquidos.
Área de la Ciencia:
- Fotónica y Microfluídica; Química Analítica; Biosensores
Sus antecedentes:
- La medición del índice de refracción (RI) es crucial para la detección de líquidos, pero los detectores comerciales tienen limitaciones en rango y velocidad.
- Los resonadores de microanillo (MRR) integrados con microfluídica ofrecen un rendimiento mejorado de detección de RI con bajo volumen de muestra y mayor rango dinámico.
Objetivo del estudio:
- Desarrollar y demostrar un detector de índice de refracción compacto y a escala de chip utilizando un resonador de microanillo (MRR) de nitruro de silicio (Si₃N₄) integrado en un sistema microfluídico.
- Comparar dos modalidades de interrogación para la detección de líquidos de flujo continuo: escaneo de longitud de onda de resonancia y sondeo de longitud de onda fija.
- Evaluar el rendimiento del dispositivo para mediciones en tiempo real bajo condiciones de flujo dinámico y su aplicabilidad en separaciones cromatográficas.
Principales métodos:
- Fabricación de un resonador de microanillo (MRR) de nitruro de silicio (Si₃N₄) integrado con un sistema microfluídico de bajo volumen.
- Comparación experimental de escaneo de longitud de onda de resonancia y sondeo de longitud de onda fija para interrogar el MRR.
- Evaluación comparativa del dispositivo con un detector de RI comercial utilizando soluciones de glucosa.
- Demostración de la capacidad del sensor para resolver picos transitorios de RI durante la separación isocrática de cuatro azúcares.
Principales resultados:
- El detector basado en MRR de Si₃N₄ logró una alta sensibilidad (113 nm/RIU) y un bajo límite de detección (sLOD de 2.3 × 10⁻⁶ RIU).
- El dispositivo demostró operación en tiempo real bajo condiciones de flujo dinámico, resolviendo con éxito picos transitorios de índice de refracción.
- Aplicación exitosa en una separación isocrática de cuatro azúcares, mostrando su utilidad en el análisis cromatográfico.
Conclusiones:
- Los MRR integrados de Si₃N₄ proporcionan una plataforma versátil y miniaturizada para la detección cuantitativa y de alta velocidad del índice de refracción en sistemas analíticos basados en flujo.
- El detector de RI a escala de chip desarrollado ofrece un rendimiento mejorado en comparación con alternativas comerciales, particularmente para condiciones de flujo dinámico.
- Esta tecnología tiene un potencial significativo para esquemas de detección avanzados y aplicaciones en ciencias de la separación y biosensores.

