Chan1, Hoffman, Lee

  • 1Department of Materials Science and Engineering, Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, MA 02139, USA. Mathematical Science Research Institute, Berkeley, CA, 94720, USA. IBM Almaden Research Center, San Jose, CA 95120, USA. Depa.

Science (New York, N.Y.)
|November 27, 1999
PubMed
まとめ

研究者は,新しい酸化プロセスを用いて3Dセラミックナノ構造フィルムを作成しました. この方法は,高度な材料アプリケーションのための制御された孔のサイズを持つナノポーラスまたはナノレリーフのシリコンオキシカーバイド構造を生成します.

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