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Y Tran1, P Auroy

  • 1Institut Curie, UMR 168, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 Paris Cedex 05, France.

まとめ

研究者らは,2段階の接ぎ木と硫化工法を介して,シリコンウエーフェルの上に頑丈なポリ (シュチレン硫酸塩) ブラシを開発しました. 新しい凝固処理により,層の耐久性が向上し,産業用アプリケーションの可能性を示した.