マイクロファブリケーション技術:炭素ナノチューブの組織的な組み立て
1Department of Materials Science and Engineering, Rensselaer Polytechnic Institute, Troy, New York 12180-3590, USA.
Nature
|April 5, 2002
まとめ
研究者は,化学蒸気堆積を用いて,炭素ナノチューブを1D,2D,3Dの複雑な構造に精密に配置した. この方法は,ナノチューブの成長方向と統合システムのためのパターン化された基板の核化部位を制御します.
科学分野:
- マテリアルサイエンス 材料科学
- ナノテクノロジー ナノテクノロジー
- 化学工学は化学工学というものです.
背景:
- 統合システムには,ナノスケール構造の正確な配置が必要です.
- ナノマテリアルの成長と方向性を制御することは,デバイス製造において極めて重要です.
研究 の 目的:
- カーボンナノチューブ (CNTs) を事前に定義された構成に直接組み立てるための方法を開発する.
- CNTの1次元,2次元,3次元構造の作成を実証する.
主な方法:
- 化学蒸気堆積 (CVD) を利用し,ガス相触媒を供給する.
- CNTの成長をテンプレートするために,リトグラフィカルにパターン化されたシリコン/シリカ基板を使用しました.
- シリカのCNTの表面特異的な成長嗜好を活用した.
主要な成果:
- CNTをさまざまな既定の方向で指向した組み立てを達成しました.
- 一,二,三次元CNTの仕組みを成功裏に作成しました.
- CNTの核形成部位と成長方向を基質地形によって制御することが実証されています.
結論:
- テンプレート成長のCVD方法により,CNTの組み立てを正確に制御できます.
- この技術は,統合システムのための複雑なCNTアーキテクチャの製造を容易にする.
- サブストラット地形と表面化学は,CNTの成長を誘導する重要な要因です.
