Emmanuel Delamarche1, Matthias Geissler, Heiko Wolf
1IBM Research, Zurich Research Laboratory, 8803 Rüschlikon, Switzerland. emd@zurich.ibm.com
マイクロコンタクトプリントアルカネチオールは,金または銅の上に自己組み立てモノレイヤを作成し,表面をエッチングから保護します. このテクニックは,ネガティブとポジティブの両方のパターニングプロセスに適応できる多用途のリトグラフィック方法を提供します.
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