nSi

P M Voyles1, D A Muller, J L Grazul

  • 1Bell Laboratories, Lucent Technologies, Murray Hill, New Jersey 07974, USA.

Nature
|April 27, 2002
PubMed
まとめ

研究者は,高度な顕微鏡を用いて,シリコン内の個々のアンチモニードーパント原子とクラスタを視覚化しました. この突破は,ドーパントの追加が,先進的な半導体デバイスの電荷キャリアの増加を阻止する理由を説明しています.