William R Childs1, Ralph G Nuzzo
1School of Chemical Sciences, Department of Materials Science and Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, 61801, USA.
新しいDecal Transfer Microlithography (DTM) テクニックにより,ポリマーレジスタの正確なマイクロパターニングが可能になりました. このソフトリトグラフィー・メソッドは,汎用的な設計ルールを提供し,マイクロ流体装置の製造を簡素化します.
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