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自己調整型,垂直チャネル型,ポリマーフィールド効果トランジスタ

Natalie Stutzmann1, Richard H Friend, Henning Sirringhaus

  • 1Cavendish Laboratory, University of Cambridge, Madingley Road, Cambridge CB3 0HE, UK.

Science (New York, N.Y.)
|March 22, 2003
PubMed
まとめ

固体エムボッシングは,柔軟な基板上の高性能ポリマートランジスタ回路のためのサブミクロメートルのパターンを可能にします. この技術は,高度な柔軟な電子機器の重要な特徴を正確に定義します.

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科学分野:

  • 材料科学 材料科学とは
  • 電気工学 電気工学とは
  • ナノテクノロジー ナノテクノロジー

背景:

  • 柔軟な基板上の高性能結合ポリマートランジスタ回路の製造には,高度なパターニングが必要です.
  • サブマイクロメートルの解像度は,これらのデバイスの重要な特徴を定義するために重要です.

研究 の 目的:

  • サブマイクロメートルの重要な特徴を持つポリマーフィールドエフェクトトランジスタを作成するために,固体エムボッシングを使用します.
  • 塗りつぶさなしにポリマーの多層構造を微細に切るためのエボッシングの能力を実証する.

主な方法:

  • 固体エムボッシングは,ポリマーフィールド効果トランジスタを製造するために使用されました.
  • 垂直チャネルトランジスタは,柔軟なポリエチレンテレフタラート基板で製造された.
  • プレッシャーされた溝を備えたインクジェット印刷は,自己調整ゲート電極の製造に使用されました.

主要な成果:

  • サブマイクロメートルの重要な特徴,特に0.7〜0.9マイクロメートルのチャネル長さを達成しました.
  • エンボッシングは,多層ポリマー構造の垂直サイドウォールの制御されたマイクロカットを可能にしました.
  • 自己調整ゲート電極は,表面エネルギーパターンによって導かれるインクジェット印刷を通じて重複容量を最小限に抑えました.

結論:

  • 固体エムボッシングは,柔軟な基板にサブマイクロメートルの解像度を持つポリマーフィールド効果トランジスタを製造するための実用的な技術です.
  • この方法は,重要なデバイスの寸法を正確に定義し,ゲート電極の効率的な調整を可能にします.
  • このアプローチは,高性能な柔軟な電子機器の製造を促進します.