CO2""Cu(0)

Carol A Bessel1, Ginger M Denison, Joseph M DeSimone

  • 1Department of Chemistry, University of North Carolina at Chapel Hill, Chapel Hill, North Carolina 27599, USA.

まとめ

研究者らは,マイクロエレクトロニクス製造のエコフレンドリーな代替品として,濃縮された二酸化炭素 (CO2) を調査した. この研究では,CO2における銅の酸化とケラ化を調査し,より緑の化学機械平面化 (CMP) プロセスへの道を切り開きました.