超臨界流体内の事前組織化されたテンプレートを使用して準備されたメソポラスシリケート.

科学分野:

• マテリアルサイエンス 材料科学
• ナノテクノロジー ナノテクノロジー
• 化学工学は化学工学というものです.

背景:

• オーダーされたメソポラス材料は,高度なアプリケーションにとって極めて重要です.
• 複雑なナノ構造を高精度で複製することは依然として課題です.

研究 の 目的:

• 順番のよいメソポラスシリケートフィルムを合成するための新しい方法を開発する.
• バイオミネラライゼーションを模倣したシリケート構造の多層次秩序を達成するために.

主な方法:

• マイクロフェーズ分離ブロックコポリマーテンプレートを使用しています.
• テンプレート膨張のために超臨界の二酸化炭素を使用します.
• シリコンアルオキシドの注入および選択的凝縮.

主要な成果:

• コポリマー形態の高精度3D複製が達成されました.
• 合成されたメソポラスシリケート薄膜は,介電常数1.8.まで低くなっています.
• フィルムは優れた機械的性質を示し,化学的-機械的な研磨に耐えることができた.

結論:

• 開発されたプロセスは,調整可能な性質を持つ高度なメソポラスシリケートフィルムの作成を可能にします.
• この方法は,デバイスアプリケーションのための多スケール順序を持つ材料を製造するための経路を提供します.