シリコン上の有機モノレイヤの真に定量的なXPS特性:H-Si上でのアルキルおよびアルコキシモノレイヤの研究 (111)

Xavier Wallart1, Catherine Henry de Villeneuve, Philippe Allongue

  • 1Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, CNRS-UMR 8520, Avenue Poincaré, B.P. 69, 59652 Villeneuve d'Ascq Cedex, France. Xavier.Wallart@iemn.univ-lille1.fr

まとめ

精密なX線光電子スペクトロスコーピー (XPS) は,シリコン-有機界面の特徴づけに不可欠です. 本研究では,表面組成を定量化するための方法,X線光反射と光電子減衰の長さを考慮して,信頼性の高いインターフェース分析を行う方法が提示されています.

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