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Tatsuya Shimoda1, Yasuo Matsuki, Masahiro Furusawa
1Technology Platform Research Centre, Seiko Epson Corporation, 281 Fujimi, Fujimi-machi, Nagano-ken, 399-0293 Japan.
研究者らは,液体前体を使用したシリコン薄膜トランジスタ (TFT) の新しいソリューションプロセスを開発した. この方法により,高性能のポリクリスタリンシリコンTFTの印刷が可能になり,従来のシリコン製造に費用対効果の高い代替品を提供します.
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