微細コンタクト印刷で適用される超薄なエッチレジストとしての酸化黄金
Ruben B A Sharpe1, Dirk Burdinski, Jurriaan Huskens
1MESA+ Institute for Nanotechnology, Molecular Nanofabrication, and Solid State Physics, University of Twente, 7500 AE Enschede, The Netherlands.
Journal of the American Chemical Society
|December 7, 2006
まとめ
酸素プラズマで処理された金の表面は,一時的なエッチマスクを作成します. マイクロコンタクトプリントは,局所的にバリア特性を劣化させ,汚染なしに制御されたエッチングを可能にします.
科学分野:
- マテリアルサイエンス 材料科学
- 表面化学について
- ナノ製造によるナノ製造です.
背景:
- 伝統的なエッチマスクは,汚染物質を導入することができます.
- 一時的なエッチバリアは,特定のマイクロファブリケーションプロセスには望ましい.
- 黄金の表面は,表面改変のためのユニークな特性を提供します.
研究 の 目的:
- 酸素プラズマで処理された黄金を用いた新しい,一時的なエッチマスクを開発するために.
- 静電反発に基づくエッチ抵抗のメカニズムを調査する.
- エッチマスクの制御された局所的な劣化の方法を実証する.
主な方法:
- 金の表面を酸素プラズマで処理する.
- エッチ抵抗性特性の特徴.
- 処理された黄金の表面に還元剤をマイクロコンタクトで印刷する.
- バリアプロパティの劣化の評価.
主要な成果:
- 酸素プラズマ処理により,黄金の表面は効果的なエッチングマスクになります.
- エッチ抵抗は,静電抵抗効果に起因する.
- マイクロコンタクトでリダクタントを印刷すると,マスクが局所的に制御可能で劣化します.
- 暫定的なエッチ・バリアは,汚染する種を導入しません.
結論:
- 酸素プラズマで処理されたゴールドは,一時的な,汚染しないエッチマスクとして機能します.
- マイクロコンタクト印刷による局所的な劣化により,エッチングを正確に制御できます.
- この方法は,高度なナノ製造技術のための有望なアプローチを提供します.
