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科学的ツールとしての微細製造

R E Howard, P F Liao, W J Skocpol

    Science (New York, N.Y.)
    |July 8, 1983
    PubMed
    まとめ
    この要約は機械生成です。

    マイクロファブリケーションは,サブマイクロメートルの物質の振る舞いを研究するためのツールを作成します. 先進的な技術により,ナノスケールの研究が可能になり,限界を100アンストロム以下に押し上げています.

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    科学分野:

    • 材料科学と工学 材料科学と工学とは
    • 物理 物理学 物理学とは
    • ナノテクノロジー ナノテクノロジー

    背景:

    • マイクロファブリケーションは,マイクロエレクトロニクスにとって極めて重要です.
    • また,サブミクロメートルの研究のための高度なツールも提供しています.
    • これらの次元における物質の理解は鍵となる.

    研究 の 目的:

    • マイクロエレクトロニクスを超えたマイクロファブリケーションの役割を強調する.
    • 基礎科学におけるその応用を紹介する.
    • ナノスケール製造の進歩について議論する.

    主な方法:

    • 光学,X線,電子束リトグラフィーを利用しています.
    • 精密な構造の作成のために,反応性イオンエッチングを使用しています.
    • 原子規模の構造や装置を製造する.

    主要な成果:

    • 表面強化ラーマン散射における実証された応用.
    • 一次元導体における輸送に関する研究を可能にしました.
    • マクロスコーピック量子トンネリングに関する研究を支援した.

    結論:

    • マイクロファブリケーション技術は,汎用的な研究ツールです.
    • Progressは100アングストーム未満まで能力を拡張しています.
    • これにより,ナノ科学と量子物理学の新たな領域を切り開くことができます.