R W Keyes
リトグラフィー技術は,予測可能な根本的な限界のない,より小さな次元に向かって前進し続けています. ミニチュライゼーションは,最終的に材料の特性と,熱散熱と接続性のためのパッケージング技術によって制限されます.
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