10nm未満の厚さの微孔膜は,ブリッジ化されたシルセスキオキサン前駆体であるプラズマ定義の原子層の堆積によって作られる
Ying-Bing Jiang1, George Xomeritakis, Zhu Chen
1Sandia National Laboratories, Department 1815, MS 1349, PO Box 5800, Albuquerque, New Mexico 87185, USA.
Journal of the American Chemical Society
|November 24, 2007
まとめ
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