熱溶解,結晶化,およびメソ構造のチタニア薄膜のシンタリングは,in situ熱エリプソメトリーで評価される

John D Bass1, David Grosso, Cédric Boissiere

  • 1Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris, Université Pierre et Marie Curie-Paris 6 and CNRS, 4 place Jussieu, 75252 Paris 05, France.

まとめ

In-situ thermal ellipsometryは,加熱スケジュールとフィルムの組成がタイタニアの薄膜にどのように影響するかを明らかにします. この方法は,高度な機能フィルムの材料特性を支配する化学プロセスに関する詳細な洞察を提供します.

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