Jove
Visualize
お問い合わせ
JoVE
x logofacebook logolinkedin logoyoutube logo
JoVEについて
概要リーダーシップブログJoVEヘルプセンター
著者向け
出版プロセス編集委員会範囲と方針査読よくある質問投稿
図書館員向け
推薦の声購読アクセスリソース図書館諮問委員会よくある質問
研究
JoVE JournalMethods CollectionsJoVE Encyclopedia of Experimentsアーカイブ
教育
JoVE CoreJoVE BusinessJoVE Science EducationJoVE Lab Manual教員リソースセンター教員サイト
利用規約
プライバシーポリシー
ポリシー

関連する概念動画

Atomic Fluorescence Spectroscopy01:29

Atomic Fluorescence Spectroscopy

Atomic fluorescence spectroscopy (AFS) is an analytical technique that involves the electronic transitions of atoms in a flame, furnace, or plasma being excited by electromagnetic (EM) radiation. When these atoms absorb energy, they become excited and subsequently release energy as they return to their original state. This emitted light, or "fluorescence," is observed at a right angle to the incident beam. Both absorption and emission processes transpire at distinct wavelengths, which are...

こちらも読む

関連記事

共著者、ジャーナル、引用グラフによってこの研究に関連する記事。

並び替え
Same author

Population-based germline testing of <i>BRCA1, BRCA2</i>, and <i>PALB2</i> in breast cancer patients in the United Kingdom: Evidence to support extended testing, and definition of groups who may not require testing.

Genetics in medicine open·2024
Same author

Results of a National Delphi consensus on the outpatient management of pediatric psychogenic nonepileptic seizures in the United States.

Epilepsy & behavior : E&B·2024
Same author

Education Research: Educating Child Neurology Residents About Psychogenic Nonepileptic Seizures: A Needs Assessment.

Neurology. Education·2024
Same author

Teaching Video NeuroImage: HIHARS-AA: Involuntary Hyperventilation-Induced Staring Spells Can Mimic Absence Seizures.

Neurology·2024
Same author

Pedestrian safety on the road to net zero: cross-sectional study of collisions with electric and hybrid-electric cars in Great Britain.

Journal of epidemiology and community health·2024
Same author

Mechanically-flexible wafer-scale integrated-photonics fabrication platform.

Scientific reports·2024

関連する実験動画

Updated: Jun 22, 2026

Single-Digit Nanometer Electron-Beam Lithography with an Aberration-Corrected Scanning Transmission Electron Microscope
10:25

Single-Digit Nanometer Electron-Beam Lithography with an Aberration-Corrected Scanning Transmission Electron Microscope

Published on: September 14, 2018

EUVリトグラフィのためのフッ素酸増幅器

Seth Kruger1, Sri Revuru, Craig Higgins

  • 1College of Nanoscale Science and Engineering, University at Albany, Albany, New York 12203, USA.

Journal of the American Chemical Society
|July 3, 2009
PubMed
まとめ
この要約は機械生成です。

極紫外線 (EUV) フォトレジスタ用の新しい酸増幅器が開発されました. これらの化合物は,解像度,感度を向上させ,EUVリトグラフィのラインエッジの粗さ (LER) を減らす酸を生成します.

さらに関連する動画

The Fabrication and Operation of a Continuous Flow, Micro-Electroporation System with Permeabilization Detection
10:34

The Fabrication and Operation of a Continuous Flow, Micro-Electroporation System with Permeabilization Detection

Published on: January 7, 2022

In Situ Transmission Electron Microscopy with Biasing and Fabrication of Asymmetric Crossbars Based on Mixed-Phased a-VOx
09:49

In Situ Transmission Electron Microscopy with Biasing and Fabrication of Asymmetric Crossbars Based on Mixed-Phased a-VOx

Published on: May 13, 2020

関連する実験動画

Last Updated: Jun 22, 2026

Single-Digit Nanometer Electron-Beam Lithography with an Aberration-Corrected Scanning Transmission Electron Microscope
10:25

Single-Digit Nanometer Electron-Beam Lithography with an Aberration-Corrected Scanning Transmission Electron Microscope

Published on: September 14, 2018

The Fabrication and Operation of a Continuous Flow, Micro-Electroporation System with Permeabilization Detection
10:34

The Fabrication and Operation of a Continuous Flow, Micro-Electroporation System with Permeabilization Detection

Published on: January 7, 2022

In Situ Transmission Electron Microscopy with Biasing and Fabrication of Asymmetric Crossbars Based on Mixed-Phased a-VOx
09:49

In Situ Transmission Electron Microscopy with Biasing and Fabrication of Asymmetric Crossbars Based on Mixed-Phased a-VOx

Published on: May 13, 2020

科学分野:

  • マテリアルサイエンス 材料科学
  • 有機化学 オーガニック・ケミストリー
  • ナノテクノロジー ナノテクノロジー

背景:

  • エクストリーム紫外線 (EUV) リトグラフィーは,高度な半導体製造に不可欠です.
  • フォトレジストは,解像度,感度,およびラインエッジの粗さ (LER) で高い性能を必要とします.
  • 酸増幅器は,EUVの光抵抗性化学において重要な役割を果たします.

研究 の 目的:

  • EUVのフォトレジスタのための新しい酸増幅器を合成する.
  • これらの増幅器の分解運動とメカニズムを調査する.
  • 重要なリトグラフィックパラメータの改善における彼らのパフォーマンスを評価する.

主な方法:

  • 5つの新しい有機化合物の合成.
  • フッ素-19核磁気共鳴 (19F NMR) を用いた化合物の分解の運動研究.
  • EUVフォトレジストにおけるリトグラフィック性能の評価.

主要な成果:

  • 合成された4つの化合物は,効果的な酸増幅器として機能します.
  • 自動触媒分解により,フッ素硫酸を生成する.
  • 塩基がない場合 (1430xまで) の分解速度は著しく高かった.
  • 1つの化合物であるcis-1-methyl-2-(4-(trifluoromethyl) phenylsulfonyloxy) cyclohexyl acetateは,解像度,LER,および感度の同時改善を示した.

結論:

  • 開発された酸増幅器は,EUVリトグラフィの進歩に期待を示しています.
  • 制御された酸生成は,光抵抗性能を高めるための鍵です.
  • さらに最適化すれば,次世代のEUVレジスタが作れるかもしれません.